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多光束激光干涉仪 XM-60
XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统:
沿线性轴
全方位测量
只需一次设定全国服务热线:134-3598-9810
产品介绍Product introduction
-
XM-60多光束激光干涉仪
XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统:
沿线性轴;
全方位测量;
只需一次设定 测量误差包括:
轴的线性定位;
垂直平面的角度旋转(仰俯);
水平平面的角度旋转(扭摆);
水平平面的直线度偏移;
以线性运动轴为中心的滚摆;
产品参数Product parameters
性能规格
线性 |
|
测量精度 |
±0.5ppm(使用环境补偿) |
分辨率 |
1nm |
测量范围 |
0m至4m |
直线度 |
|
精度 |
±0.01A/±2µm(A=显示的直线度读数) |
分辨率 |
0.25µm |
测量范围 |
250µm(半径) |
角度(俯仰/扭摆) |
|
精度 |
±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=测量的距离,单位:米) (A=显示的角度读数) |
分辨率 |
0.03微弧度 |
测量范围 |
±500微弧度 |
滚摆 |
|
精度 |
±0.01A±9.1微弧度(A=显示的角度读数) |
分辨率 |
0.5微弧度 |
测量范围 |
±500微弧度 |
工作与存储环境
工作环境 |
||
空气压力 |
600毫巴-1150毫巴 |
标准环境 |
湿度 |
相对湿度0%-95% |
非冷凝 |
温度 |
10°C至40°C |
|
存储环境 |
||
空气压力 |
550毫巴–1200毫巴 |
标准环境 |
湿度 |
相对湿度0%-95% |
非冷凝 |
温度 |
-20°C至70°C |
|
产品展示Product display
产品优势Product advantage
应用场景Application scenarios
资料下载Data download
激光干涉仪XM-60资料 |
采购:多光束激光干涉仪 XM-60
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