产品介绍Product introduction
-
-
XM-60多光束激光干涉仪
XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统：
沿线性轴；
全方位测量；
只需一次设定 测量误差包括：
轴的线性定位；
垂直平面的角度旋转（仰俯）；
水平平面的角度旋转（扭摆）；
水平平面的直线度偏移；
以线性运动轴为中心的滚摆；
产品参数Product parameters
性能规格
|
线性 |
|
|
测量精度 |
±0.5ppm（使用环境补偿） |
|
分辨率 |
1nm |
|
测量范围 |
0m至4m |
|
直线度 |
|
|
精度 |
±0.01A/±2µm(A=显示的直线度读数) |
|
分辨率 |
0.25µm |
|
测量范围 |
250µm（半径） |
|
角度（俯仰/扭摆） |
|
|
精度 |
±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=测量的距离，单位：米) (A=显示的角度读数) |
|
分辨率 |
0.03微弧度 |
|
测量范围 |
±500微弧度 |
|
滚摆 |
|
|
精度 |
±0.01A±9.1微弧度(A=显示的角度读数) |
|
分辨率 |
0.5微弧度 |
|
测量范围 |
±500微弧度 |
工作与存储环境
|
工作环境 |
||
|
空气压力 |
600毫巴-1150毫巴 |
标准环境 |
|
湿度 |
相对湿度0%-95% |
非冷凝 |
|
温度 |
10°C至40°C |
|
|
存储环境 |
||
|
空气压力 |
550毫巴–1200毫巴 |
标准环境 |
|
湿度 |
相对湿度0%-95% |
非冷凝 |
|
温度 |
-20°C至70°C |
|
产品展示Product display
产品优势Product advantage
应用场景Application scenarios
资料下载Data download
|
|
标准精度机床测头 OMP40-2
Equator 500比对仪
Equator500（加高型）比对仪
激光校准仪XK-10
激光干涉仪XL-80
无线球杆仪 QC20-W
XR20-W无线回转校准装置
RGH24光栅系统
RGH25F光栅系统
inVia共焦显微拉曼光谱仪