激光干涉仪是激光的应用的一种，它以激光波长为已发现尺寸，运用的是迈克尔逊干涉系统检验偏移的通用性尺寸测量。除开能够用以测量长度之外，假如搭配各类折射镜、反射镜等来作线性部位、速率、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等检验工作，可做为精密工具机或测量仪器的校准工作。

未来，激光干涉仪可从光源、探测器、信号处理系统、光学系统等方面实现发展壮大，从检验数据信息的可靠性、精确性，及其测量仪器的便携式等，持续改进各类特性。接下来简单介绍一下它在几个方面的运用情况。

1、数控机床检验中的运用

伴随着数控机床运用的普及化，选用激光干涉仪对数控机床实现定位精度检验早已成为了现阶段公认的高效率、高精度的检验方式。可用以精密机床、大规模的集成电路生产设备等在线部位检验、偏差校正和控制，其中双频的运用更多。与传统的检验方式比照，具备较高的精度和效率，并能妥善处理数据信息，为机床偏差校正给予根据，部位精度是机床的关键指标，现阶段各国机床检验标准上都推荐应用激光干涉仪。在机床中的运用是其它传统检验手段难以实现和代替的。

2、位移传感器

激光干涉仪在位移传感器检验中的运用已成为了一个大发展趋向，其优点是测量精度快、反应速度快、便于数字化检验。在检验中设计构思1个精密导轨，将反射镜同被测传感器放到一块儿同步检验，进而产生比照，位移传感器全自动检验系统与HP干涉仪对定位移实现检测比照，得到往复检测实验结论。