1、重复精度等级检测基本原理
重复精度等级检测关键使用干涉仪的线形检测，即看待测挪动设备的精准定位开展数次检测，较为获得同一个挪动命令下的精度等级。

线形检测是激光干涉仪的相互间检测，基本原理如图。将1个角锥反射镜组装到分光镜上，构成线形干预镜，它产生干涉仪的参照光路。另1个角锥反射镜组装到被测目标上，它与干预镜相互间产生干涉仪的检测光路。伴随着挪动设备数次挪动，每挪动设置挪动量以后，由干涉仪纪录检测光路更改量，即挪动设备的挪动量。

2、检测数据整理
重复精度等级包含挪动设备的单点精度等级和整体挪动范畴内的不一样部位点上的精度等级两类。前者能够根据调节设备使数次挪动到同一个标称部位，并中止几秒钟，纪录挪动量；检测其挪动误差量；后面择在整体挪动范畴不一样部位点上检测具体挪动与标称值的误差，使待测挪动设备挪动到目标部位点，并待定开展检测。将数次精准定位检测数据开展解析处置，获得设备的重复精度等级。
3、重复精度等级检测用部件
重复精度等级检测使用的激光干涉仪部件：
激光干涉仪测头、线形检测光学镜组、光路折变量光学镜组、环境赔偿单元、LeiceMeasure测量系统、LeiceAnalysis数据分析软件。
4、重复精度等级检测运用
数控车床/坐标测量仪滑轨的重复精度等级检测
数控车床X、Y轴挪动台的重复精度等级检测
高精密机械设备元器件的校正

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