激光干涉仪进行角度测量的方法

角度的复现是建立在圆周角等于360°的基础上的。激光测角的方法很多，按照测角范围分类，可分为：小角度测量和全角测量;按照有无合作目标分类，可分为有靶镜测量和无靶镜测量;按照坐标特征可以分为：俯仰角、偏摆角、滚动角的测量。激光干涉仪通过不同的光学镜组件，可对机床的俯仰角、偏摆角和滚动角进行测量。

许多机械系统，如机床、测量机等都采用直角坐标系统。在理想情况下X、Y、Z三个坐标轴相互垂直。如果他们不垂直就会影响空间坐标的精度。因此，垂直度的测量已引起广泛的重视。测量垂直度的方法基于直线度测量，以直角方块为基准，测量两个待测导轨的直线度，可以计算出两个导轨的垂直度。这种测量方法的核心思想是以双面反射镜的角平分线为直线基准(简称准直基线)。测量垂直度时，首先将准直基线调整到和待测的一个方向平行，后来的任何调节都不得变动双面反射镜。因此，准直基线就平行于一个待测方向。这时用直角标准块和反射棱镜把光束转90°，用空心四面体入射光和出射光。棱镜放在出射侧，光束从双面反射镜返回、合光，进入激光器计数。四面体和沃拉斯顿棱镜在跟随另外一个运动方向运动的过程中所显示的直线度误差就是垂直度误差，误差值除以移动距离就是角度值。