激光干涉仪以光波为媒介，具备测量精度高、精确测量速度更快、检测范围大、Zgao限速下屏幕分辨率高的特性，其光波波长可立即对米开展界定并追溯至国家行业标准。因而，干涉仪普遍使用于数控车床、PCB钻孔设备、座标测量仪、位移计等仪器仪表的质量管理与校正及其产品研发、高档设备制造等行业。
干涉仪日常使用特别注意的事项，以激光波长为已经知道长短，使用迈克耳逊干涉系统精确测量移动的通用性长度测量。

1、激光干涉仪应妥当地放到干躁、清理的屋子里，避免震动，仪器设备挪动时，应贴紧基座，防止滑轨形变。

2、电子光学零件无需时，应储放在整洁的干躁盆中，以避免起霉。后视镜、分光镜一般不允许擦洗，必需擦洗时，须先用配件刷子当心掸去尘土，再用脱油清理棉花球滴上乙醇和医用乙醚溶液轻拭。
3、传动系统构件应该有较好的润化。尤其是滑轨、滚珠丝杆、螺帽与孔轴一部分，使用T5高精密仪表盘油润化。
4、使用时，各调整位置用劲要适度，不可以强旋、硬扳。
5、滑轨面滚珠丝杆应避免刮伤、生锈，用毕后，仍维持不失油情况。
6、激光干涉仪通过高精密调节的仪器设备构件上的螺钉，都涂有清漆，不可以私自旋转。